2025年7月17日，“質(zhì)析毫微・譜繪萬象”半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會(huì)在中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所學(xué)術(shù)交流中心隆重舉行。本次會(huì)議由中國物理學(xué)會(huì)質(zhì)譜分會(huì)、北京雪迪龍科技股份有限公司聯(lián)合主辦，中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所、分析測試百科網(wǎng)、中國儀器儀表學(xué)會(huì)分析儀器分會(huì)質(zhì)譜儀器專家組協(xié)辦，共同聚焦半導(dǎo)體檢測技術(shù)的前沿動(dòng)態(tài)與國產(chǎn)化發(fā)展之路。
開幕致辭
中國物理學(xué)會(huì)質(zhì)譜分會(huì)理事長方向在致辭中強(qiáng)調(diào)，質(zhì)譜技術(shù)在我國材料、半導(dǎo)體以及生命科學(xué)等諸多領(lǐng)域都具有極為重要的意義，而近年來質(zhì)譜技術(shù)的國產(chǎn)化替代和突破已成為各界關(guān)注的焦點(diǎn)。方向提到，我國在推動(dòng)質(zhì)譜技術(shù)國產(chǎn)化方面已取得重要進(jìn)展，得到了國家的大力支持，眾多企業(yè)家懷著責(zé)任感和使命感，抓住市場機(jī)遇，推動(dòng)國產(chǎn)質(zhì)譜技術(shù)的發(fā)展。
北京雪迪龍科技股份有限公司董事長敖小強(qiáng)表示，此次研討會(huì)對(duì)于雪迪龍而言意義非凡，尤其是與中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所共同成立飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜上海應(yīng)用中心，這不僅是雪迪龍與科研院所的一次重要合作，也是推動(dòng)國產(chǎn)科學(xué)儀器發(fā)展的重要一步。雪迪龍作為行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，致力于推動(dòng)國產(chǎn)儀器的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，助力半導(dǎo)體檢測技術(shù)的自主可控。他希望通過此次研討會(huì)，與各位專家共同探討如何推動(dòng)高端科學(xué)儀器發(fā)展，特別是在半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域。
揭牌儀式
在開幕致辭之后，舉行了一場意義非凡的揭牌儀式。北京雪迪龍科技股份有限公司與中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所攜手共建“飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜上海應(yīng)用中心”。這一合作標(biāo)志著產(chǎn)學(xué)研深度融合邁出了堅(jiān)實(shí)一步，雙方將共同致力于質(zhì)譜技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用，標(biāo)志著雪迪龍的飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）的國產(chǎn)化進(jìn)程正式啟動(dòng)。
主題報(bào)告
雪迪龍副總工程師張倩暄帶來了題為“基于CRDS等技術(shù)的半導(dǎo)體解決方案”的報(bào)告。針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中遇到痕量成分檢測的難題，雪迪龍推出了基于光腔衰蕩光譜（CRDS）的痕量氣體分析儀、以及用于晶圓表面污染檢測的飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）等，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)痕量雜質(zhì)檢測的高靈敏度和高精度要求。
雪迪龍子公司英國KORE公司總經(jīng)理Stephen James Mullock博士在“TOF-SIMS-An Essential Technique for a Modern Surface Science Laboratory”報(bào)告中，介紹了TOF-SIMS在半導(dǎo)體行業(yè)、涂層技術(shù)和各類材料粘附相關(guān)領(lǐng)域表面分析中的重要性，以及在分子信息獲取和高空間分辨率方面的優(yōu)勢(shì)，并分享了KORE公司在TOF-SIMS儀器設(shè)計(jì)上的創(chuàng)新。
雪迪龍子公司英國KORE公司技術(shù)專家Douglas Fraser Reich在“The Applications of TOF-SIMS in Materials Science”報(bào)告中，介紹了TOF-SIMS在表面化學(xué)、粘附性、多層薄膜、藥物傳遞以及半導(dǎo)體中低水平元素的分布和同位素標(biāo)記等領(lǐng)域的應(yīng)用，并通過實(shí)際案例展示了TOF-SIMS在工業(yè)問題解決中的強(qiáng)大能力。
半導(dǎo)體檢測技術(shù)的自主可控是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵，通過加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作、推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新和人才培養(yǎng)，我國有望在高端科學(xué)儀器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。
半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會(huì)的成功舉辦，為我國半導(dǎo)體檢測技術(shù)的自立自強(qiáng)注入了新的活力。雪迪龍期待與各科研單位、專家合作，成為各方開展質(zhì)譜技術(shù)研究的共享平臺(tái)。
