近日，國(guó)機(jī)集團(tuán)所屬沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院有限公司（以下簡(jiǎn)稱“沈陽(yáng)儀表院”）承擔(dān)的遼寧省科技創(chuàng)新重大專項(xiàng)“高精密激光劃片機(jī)工藝技術(shù)及裝備研究”順利通過(guò)驗(yàn)收，成功研制出國(guó)內(nèi)先進(jìn)的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機(jī)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，在破解制約國(guó)產(chǎn)高端激光IC劃切裝備及關(guān)鍵工藝瓶頸的道路上邁出堅(jiān)實(shí)一步。

劃片機(jī)是晶圓加工的重要設(shè)備，主要用于硅片、陶瓷、玻璃、藍(lán)寶石等脆硬材料的劃槽和切割加工，已廣泛應(yīng)用在IC、半導(dǎo)體傳感器、LED、太陽(yáng)能光伏基片、醫(yī)用“B超”換能頭、光學(xué)元器件等產(chǎn)業(yè)。我國(guó)傳統(tǒng)劃片機(jī)采用砂輪切割，存在崩邊等問(wèn)題，現(xiàn)在采用的激光技術(shù)又存在熔渣等問(wèn)題。沈陽(yáng)儀表院的該產(chǎn)品采用水導(dǎo)激光，很好地解決了這些問(wèn)題，將來(lái)會(huì)應(yīng)用在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)上。

沈陽(yáng)儀表院與東北大學(xué)、沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué)、中科院半導(dǎo)體研究所等高校和科研機(jī)構(gòu)開(kāi)展產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合攻關(guān)，項(xiàng)目組歷時(shí)四年，突破了一系列的技術(shù)瓶頸，在水束光纖耦合、高精密運(yùn)動(dòng)控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)和工藝方面取得重大突破，對(duì)誤差擬合和實(shí)時(shí)補(bǔ)償、視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)、激光與微水束對(duì)準(zhǔn)、設(shè)備可靠性分析、微水束激光加工等技術(shù)和工藝進(jìn)行了研究和應(yīng)用，開(kāi)發(fā)了專用控制系統(tǒng)軟件，成功研制出國(guó)內(nèi)先進(jìn)的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機(jī)。

該產(chǎn)品目前正在中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所示范應(yīng)用，總體運(yùn)行穩(wěn)定。項(xiàng)目相關(guān)技術(shù)還直接促進(jìn)了沈陽(yáng)儀表院紅外激光劃片機(jī)和ZSH系列砂輪劃片機(jī)產(chǎn)品的升級(jí)換代，技術(shù)衍生產(chǎn)品6寸激光劃片機(jī)于今年也正式進(jìn)入市場(chǎng)服役。項(xiàng)目組下一步將對(duì)標(biāo)國(guó)外設(shè)備，繼續(xù)優(yōu)化樣機(jī)性能，同時(shí)，計(jì)劃組建精密劃切工程技術(shù)實(shí)驗(yàn)室，依托專業(yè)化技術(shù)平臺(tái)開(kāi)展激光劃片多種工藝研究，為沈陽(yáng)儀表院高端裝備制造產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供有力支撐。