2018年4月中旬,“2018中國半導(dǎo)體市場年會暨第七屆集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新大會”在江蘇南京舉行。會上揭曉了第十二屆(2017年度)中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)項目的獎項歸屬,由北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司下屬企業(yè)“北京七星華創(chuàng)流量計有限公司”研制的“七星 US700 流量計”斬獲這一獎項。
北京七星華創(chuàng)流量計有限公司是北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司下屬業(yè)務(wù)單元,是目前處于國內(nèi)行業(yè)領(lǐng)先水平的氣體質(zhì)量流量控制器研制生產(chǎn)廠商,其先后推出了模擬和數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器,有關(guān)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、光伏、分析儀器、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。此次獲得半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)項目獎的“七星 US700 流量計”是七星華創(chuàng)流量計有限公司最新研制的數(shù)字產(chǎn)品,具有控制精度高、低工作壓差等特性,適合于半導(dǎo)體離子注入工藝及其他相關(guān)集成電路制造工藝。值得一提的是,US700流量計也填補了國內(nèi)在數(shù)字低壓差產(chǎn)品領(lǐng)域的技術(shù)空白,其性能指標(biāo)達到國際先進水平。














